光刻机是什么(什么光刻机)
生活常识 2023-04-17 17:46生活常识www.wozhengxing.cn
1、光刻机(Mask Aligner) 又名掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。2、它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
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